horiba质量流量计说明书

热式质量流量计主要包括毛细管热式插入式热式以及微电子MEMS热式尽管结构各异，但核心原理均是通过传感器感知气体带走的热量变化，以此计算气体的质量流量其中，毛细管热式技术最为成熟，如国际知名品牌Bronkhorst和Horiba，以及国内的七星华创，都采用此原理，其广泛的适用性和性价比使其脱颖而出。